Indústria Noções básicas e mecanismo do mais recente equipamento de fabricação de semicondutores Uma visão geral do equipamento de fabricação, desde o fab até a inspeção
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Nome do produto em japonês: 単行本(実用) 産業 よくわかる最新 半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する